怎样进行芯片失效分析?失效与可靠性分析仪与国外的差距?

1、怎样进行芯片失效分析?


一般来说,集成电路在研制、生产和使用过程中失效不可避免,随着人们对产品质量和可靠性要求的不断提高,失效分析工作也显得越来越重要,通过芯片失效分析,可以帮助集成电路设计人员找到设计上的缺陷、工艺参数的不匹配或设计与操作中的不当等问题。失效分析的意义主要表现具体来说,失效分析的意义主要表现在以下几个方面: 失效分析是确定芯片失效机理的必要手段。 失效分析为有效的故障诊断提供了必要的信息。 失效分析为设计工程师不断改进或者修复芯片的设计,使之与设计规范更加吻合提供必要的反馈信息。 失效分析可以评估不同测试向量的有效性,为生产测试提供必要的补充,为验证测试流程优化提供必要的信息基础。失效分析主要步骤和内容芯片开封:去除IC封胶,同时保持芯片功能的完整无损,保持 die,bond pads,bond wires乃至lead-frame不受损伤,为下一步芯片失效分析实验做准备。SEM 扫描电镜/EDX成分分析:包括材料结构分析/缺陷观察、元素组成常规微区分析、精确测量元器件尺寸等等。探针测试:以微探针快捷方便地获取IC内部电信号。镭射切割:以微激光束切断线路或芯片上层特定区域。EMMI侦测:EMMI微光显微镜是一种效率极高的失效分错析工具,提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式,可侦测和定位非常微弱的发光(可见光及近红外光),由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。OBIRCH应用(镭射光束诱发阻抗值变化测试):OBIRCH常用于芯片内部高阻抗及低阻抗分析,线路漏电路径分析。利用OBIRCH方法,可以有效地对电路中缺陷定位,如线条中的空洞、通孔下的空洞。通孔底部高阻区等,也能有效的检测短路或漏电,是发光显微技术的有力补充。
LG液晶热点侦测:利用液晶感测到IC漏电处分子排列重组,在显微镜下呈现出不同于其它区域的斑状影像,找寻在实际分析中困扰设计人员的漏电区域(超过10mA之故障点)。
定点/非定点芯片研磨:移除植于液晶驱动芯片 Pad上的金凸块, 保持Pad完好无损,以利后续分析或rebonding。
X-Ray 无损侦测:检测IC封装中的各种缺陷如层剥离、爆裂、空洞以及打线的完整性,PCB制程中可能存在的缺陷如对齐不良或桥接,开路、短路或不正常连接的缺陷,封装中的锡球完整性。

我们的集成电路失效分析设备是利用超导法的无损分析,可分析芯片的短路,漏电,开路,并进行精确定位。是一种超导法电故障隔离显微镜。


2、https://www.zhihu.com/question/29417700/answer/52737825

中国集成电路可靠性和失效分析是不是和国外差距很大?

有差距,正如生产工艺的差距。失效分析的很多先进手段都是为了配合新制程研发而发展的。另外,半导体生产对设备要求很高,失效分析也一样~

先说集成电路:
集成电路主要分三块:设计,制造,封测。设计差距不大,制造差距非常大(这个依托于设备及其对应的工艺,以及熟练技工),封测也差距不大。所以集成电路领域的制造部分才是真正落后(制程工艺设计,过程管控,设备)。这部分差距估计有20年+20万亿元以上?
再说失效分析:
这块主要是分析方法(经验)和设备,对于设备,国内顶尖实验室(第三方以及华为中兴的实验室,还有一些集成电路工厂)已经可以可以达到国际先进水平,差距不大,但是不普及。主要差距是我们对半导体内部制造工艺不熟悉,实践案例也没有人家多,造成判断没把握。这部分的差距总体不大,应该在5年+5k亿吧?



作者:李井冈
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来源:知乎
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