MLD分子层沉积 (Molecular Layer Deposition)
MLD沉积原理：
通过将两种反应气体（或者蒸汽）以气体脉冲形式交替地引入反应器，依靠留在基底表面的吸附分子（如羟基或氨基）进行反应而生成薄膜。由于每次参与反应的反应物局限于化学吸附于基底表面的分子，这使得 MLD 具有自限制生长特征。
目前可沉积的MLD薄膜有：
有机聚合物物薄膜：
Polyimide聚酰亚胺（热解可得到碳膜），Polyurea聚脲，Polyamide（聚酰胺（尼龙66），Polyimide–amide聚酰亚胺-酰胺，Polyurethane聚氨酯，Polythiurea聚硫脲，Polyester聚酯，聚乙二醇（PEG）等。
有机无机杂化薄膜：
Al、Ti、Zn、Fe 的有机-无机杂化膜…
应用领域：
MLD沉积的有机聚合物薄膜、有机无机杂化薄膜、有机无机纳米叠层薄膜，可以用于微电子，MEMS， 薄膜封装、生物芯片，润滑，耐磨，耐腐蚀，防静电，阻燃，耐高温 防潮，防水保护层，药片薄膜衣等领域。MLD可实现单层、亚单层、埃级别的精准厚度控制，在分子水平上控制薄膜的形成和生长，并对形貌无特殊要求，能够在平面、粒子、纤维、多孔以及复杂结构上沉积薄膜。
Polyimide聚亚酰胺与Ta2O5纳米叠层的介电常数与纳米力学性能：
介电常数随Ta2O5含量增加而增加。
薄膜的柔软度、弹性、塑性随Polyimide聚酰亚胺的增加而增加
MLD沉积聚酰亚胺，热解成炭膜
PEG薄膜作为防污薄膜-用于生物芯片
MLD沉积PEG薄膜，可以提供厚度精确可控，高质量，防污的薄膜，使生物芯片具有高的选择性、稳定、可产业化。
